TECHNOLOGIEMODUL
MULTI BEAM SCANNER
Durch den Einsatz des MultiBeamScanner können die Produktionskosten durch eine signifikante Erhöhung der Prozessgeschwindigkeit deutlich reduziert werden. In Kombination mit einem Galvanometerscanner können so beliebige periodische Strukturen erzeugt werden.
Das Prinzip des MultiBeamScanner beruht auf der Aufteilung eines Laserstrahls in eine Vielzahl von Teilstrahlen durch einen diffraktiven Strahlteiler. Mittels einer angepassten Abbildungsoptik wird der Strahlteiler in einen Galvanometerscanner abgebildet. In der Werkstückebene können somit eine Vielzahl von Bearbeitungspunkten erzeugt werden, die bei einer Scannerbewegung gleichförmige Geometrien abfahren. Somit können leicht eine Vielzahl identischer Strukturen in einem Bearbeitungszyklus hergestellt werden.
Mit diesem Ansatz können die meist physikalisch bedingten Leistungsbeschränkungen vieler UKP-Laserprozesse überwunden und die Wirtschaftlichkeit der Laserbearbeitung deutlich erhöht werden.
Bespielhafte Anwendungen sind:
- Die Herstellung periodischer Strukturen mit hohen Prozessgeschwindigkeiten u.a. Bohrraten im kHz-Bereich zur großflächigen Herstellung von Mikrofiltern
- Die Funktionalisierung von Oberflächen u.a. die Herstellung von tribologisch optimierten Oberflächen zur Reibungsreduzierung bzw. gezielten Schmierung durch Einbringen von Schmierdepots und Schmierkanälen in reibungsbelastete Oberflächen
